在设计臭氧发生器法处理站时，常将由共同工艺流程联系起来的各种房间布置在同一楼房内。在大型臭氧发生器法水处理站中的控制间，附属生活间，电气设备间常设在独立的楼房中，但和工艺楼房有通道相连。臭氧发生器法水处理站平面布置必须考虑臭氧制造和利用的工艺操作顺序，臭氧化气的毒性及其不稳定性。臭氧发生器法水处理装置常根据其不同的功能分组进行布置：空气压强和空气处部分，臭氧制造部分，供电部分和水-臭氧接触装置部分。第一部分最好有自己单独房间。这样的分组布置使得将有可能出现危害性的臭氧高浓度的房间分离开来。各组房间相对位置虽无一定要求，但应注意到臭氧的毒性和不稳定性，即臭氧制造间与臭氧接触装置间应紧密相连（为了缩短输气管路）。

布置臭氧发生器法水处理装置时应能保证设备维护方便，大修时易拆装，尽量缩短臭氧化气输气管路和自流管路的长度。布置设备时应遵守相应的建筑法规，照明标准，技术安全的规则和标准，劳保和安装的通道，人流通道以及有可能清理设备的工作表面。设备，控制盘，建筑构造表面的突出部分之间的净空应不小于1m。机器维护之间（空气压缩机，鼓风机，水泵）的通道宽度净不小于1m（小型机器除外，如机器的宽度与高度均小于800mm）。对于水型机器则减少至0.8m。需周期性维护的设备，发如控制盘的维护通道宽度应不小于0.8m。安装臭氧发生器时需考虑到发生器电极的拆装。